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國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,武漢高芯科技有限公司申請一項名為“一種硫化鋅/碲化鎘復(fù)合鈍化膜的開孔方法及碲鎘汞器件”的專利,公開號CN 119836031 A,申請日期為2024年12月。
專利摘要顯示,本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料加工制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種硫化鋅/碲化鎘復(fù)合鈍化膜的開孔方法及碲鎘汞器件,包括如下步驟:S1、在器件的硫化鋅/碲化鎘復(fù)合鈍化膜表面制作光刻膠開孔圖形;S2、對硫化鋅鈍化膜進行腐蝕開孔;S3、在硫化鋅鈍化膜開孔的側(cè)壁上覆蓋保護層;S4、對碲化鎘鈍化膜進行腐蝕開孔;S5、去除所述保護層和所述光刻膠開孔圖形。本發(fā)明在硫化鋅鈍化膜開孔之后、碲化鎘鈍化膜開孔之前,通過在硫化鋅鈍化膜開孔的側(cè)壁上覆蓋保護層,有效避免了后續(xù)碲化鎘鈍化膜腐蝕開孔時對硫化鋅鈍化膜開孔造成擴腐蝕,顯著提高了硫化鋅/碲化鎘復(fù)合鈍化膜開孔孔徑的均勻性和精確度。
天眼查資料顯示,武漢高芯科技有限公司,成立于2013年,位于武漢市,是一家以從事科技推廣和應(yīng)用服務(wù)業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本33800萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,武漢高芯科技有限公司共對外投資了1家企業(yè),參與招投標項目62次,財產(chǎn)線索方面有商標信息22條,專利信息366條,此外企業(yè)還擁有行政許可20個。
(關(guān)鍵字:碲化鎘)