全球領(lǐng)先的移動機器人解決方案提供商優(yōu)艾智合(YOUIBOT)近日宣布，其針對半導(dǎo)體行業(yè)推出的潔凈室自動化物流解決方案已在全球范圍內(nèi)實現(xiàn)規(guī)模化部署，服務(wù)客戶超過300家，其中包括臺積電、中芯國際、華天科技等全球半導(dǎo)體龍頭企業(yè)。這一解決方案覆蓋了從襯底制備、外延生長、晶圓制造到封裝測試的全產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，成為半導(dǎo)體智能制造領(lǐng)域的重要推動力。

半導(dǎo)體制造是當(dāng)今科技產(chǎn)業(yè)的核心，其生產(chǎn)過程對潔凈度、精度和穩(wěn)定性要求極高。傳統(tǒng)的物料搬運方式依賴人工操作，不僅效率低下，還容易引入污染和誤差。優(yōu)艾智合通過自主研發(fā)的高精度SLAM導(dǎo)航技術(shù)和復(fù)合機器人系統(tǒng)，成功解決了半導(dǎo)體制造中的物流自動化難題。其AMR(自主移動機器人)產(chǎn)品能夠在Class 1超凈環(huán)境中穩(wěn)定運行，振動值嚴(yán)格控制在0.1g以下，滿足晶圓級微震動抑制要求，同時通過CE和SEMI S2國際認(rèn)證，操作精度可達(dá)±1mm。

優(yōu)艾智合的解決方案不僅具備卓越的硬件性能，還搭載了自主研發(fā)的Fleet調(diào)度系統(tǒng)。該系統(tǒng)支持多機型、多場景的協(xié)同作業(yè)，可同時調(diào)度1000臺以上機器人，實現(xiàn)高效路徑規(guī)劃和動態(tài)任務(wù)分配。此外，系統(tǒng)還支持可視化編程和地圖編輯功能，能夠根據(jù)生產(chǎn)需求快速調(diào)整物流路線，支持地圖擴建、補建和局部重建，極大提升了生產(chǎn)線的靈活性和可擴展性。

在實際應(yīng)用中，優(yōu)艾智合的AMR系統(tǒng)已成功部署于多家全球知名半導(dǎo)體企業(yè)的生產(chǎn)線。例如，在某國際頭部晶圓廠的8寸晶圓車間，優(yōu)艾智合通過50+臺OW8晶圓盒搬運機器人，實現(xiàn)了SMIF POD在光刻機、蝕刻機、CMP等設(shè)備間的自主流轉(zhuǎn)，替代了傳統(tǒng)的人工搬運方式。該項目不僅大幅降低了人力成本，有效提升物料處理效率，為工廠的7×24小時連續(xù)生產(chǎn)提供了可靠保障。

優(yōu)艾智合創(chuàng)始人表示：“半導(dǎo)體行業(yè)正面臨著智能化升級的關(guān)鍵機遇，我們的目標(biāo)是通過創(chuàng)新的機器人技術(shù)和智能物流解決方案，幫助客戶實現(xiàn)穩(wěn)定、柔性、高效的生產(chǎn)運營。未來，我們將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域，推動全球半導(dǎo)體制造的智能化轉(zhuǎn)型。”

(關(guān)鍵字：半導(dǎo)體)